微处理制氧机在半导体生产车间的应用

近年来，随着电子工业的快速发展，电子气体在半导体工业中的地位日益突出。

半导体工业中使用的气体统称为电子气体。

在半导体生产过程中，从芯片生长到最终器件封装，几乎每个步骤都离不开电子气。

电子气体的成本占ic材料总成本的5％至6％。

电子气的纯度对芯片的质量有很大的影响。

根据其类型，电子气体可分为纯气体，高纯度气体和半导体特殊气体。

根据纯度等级和应用场合，半导体气体可分为电子等级，LSI（大规模集成电路）等级，VLSI（超大规模集成电路）等级和ULSI（超大规模集成电路）等级。

其中，高纯度气体主要用于超大型集成电路，分离装置和光电等高科技领域，包括氧气，氮气，氢气，氦气和氩气。

特殊气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺。

该电子气体主要分为氢化物，氟化物和碳氟化合物。

以氮气为例。

氮气用于清洁手套箱或半导体室，以确保环境的纯净。

因为氮气比空气重，所以它将空气推出环境，导致缺氧状态。

这对半导体制造是有益的，因为它可以确保环境的无菌性并防止某些材料与氧气相互作用。

但是，如果在氮气供应过程中发生泄漏，则空气中的氧气会减少。

在这种情况下，工人将因缺氧而遭受窒息的危险。

此外，大多数“保护性气体”被用作保护气体。

无色无味，员工无法分辨是否有泄漏。

因此，半导体生产车间必须安装氧气监测仪以检测氧气含量。

当氮气或任何其他气体泄漏到工厂环境中时，氧气监测仪可以及时发出警报。

氧气变送器或微量氧气分析仪可用于监测氧气。

专注。

美国南国氧气传送器OMD-150是基于微处理的氧气传送器。

氧气变送器可以配置为根据特定的应用要求检测痕量氧气或恒定氧气。

此外，还有一台微量氧气分析仪OMD507，它采用了世界先进的燃料电池氧气传感器。

电路设计采用智能微控制技术。

精度高，稳定性好，使用寿命长，功耗低，体积小，结构简单。

，易于使用和维护。